|
Eindproducten - LCD's in cockpit 
|
| LCD’s in de cockpit van een vliegtuig.
|
Toegepaste technologie:
| | CVD
| | | Toegepaste basis-techniek:
| | Plasma Enhanced CVD
| | | Toegepaste techniek:
| | RF PECVD
| | | Materiaal Ondergrond:
| | Glas
| | | Materiaal v.d. laag:
| | Siliciumnitride en amorf Silicium
| | | Doel van de behandeling:
| | Het doel van de behandeling is het aanbrengen van een isolerende Siliciumnitride laag en een actieve laag van amorf Silicium bij de fabricage van een Liquid Crystal Display (LCD).
| | | Keuze van de techniek:
| | Met PECVD kunnen op grote vlakke substraten uniform lagen worden aangebracht bij relatief lage temperaturen (300 °C)
| |
